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多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓水射流為動力,以水力自驅(qū)動三維洗罐器為噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水（去離子水或叫脫鹽水）漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。
多晶硅還原爐鐘罩自動清洗烘干系統(tǒng) Bell jar cleaning system
■適用范圍
西門子法多晶硅還原爐鐘罩（爐筒）內(nèi)壁的全自動清洗和烘干。
■工作原理
以高壓水射流為動力,以水力自驅(qū)動三維洗罐器為噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水（去離子水或叫脫鹽水）漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。
用經(jīng)過三級凈化（10萬級）的純凈空氣，梯級加熱，保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露，可直接進入生產(chǎn)作業(yè)。
■系統(tǒng)特點
1)技術(shù)能力強，設(shè)計合理，根據(jù)客戶需求，總結(jié)借鑒國內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢，設(shè)計出本套系統(tǒng)，實現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。可根據(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設(shè)計。
2)設(shè)備性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口。
3)自動化程度高：PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。
4)適應(yīng)范圍廣：可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
5)節(jié)能、環(huán)保、安全：提供了預(yù)熱（余熱蒸汽、余熱水或油）加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。
6)德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全，零配件充足。
■工作流程
還原爐鐘罩到位—預(yù)清洗—清洗劑（堿液）清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。
注：清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響，這方面我公司積累了豐富的實踐經(jīng)驗解決閃爆等問題。
■基礎(chǔ)條件
1)電源：380V/50Hz，30KW，電纜引至控制柜。
2)蒸汽：壓力0.175-0.9Mpa（G），到指定接口點。
3)壓縮空氣：不小于流量3NM3/h，壓力0.6-0.75Mpa（G）（氣動閥、氣缸用氣）, 指定接口點。
4)脫鹽水：可提供條件，不小于100L/min，到指定接口點。
5)純水：不小于 100L/min，到指定接點。
6)清洗劑：NaOH清洗液等，不小于2立方米。
7)占地面積：36-80平米（寬約6-7米，長6-12米
8)三廢處理：洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣，排放到需方指定處，由需方自行處理，配排污水（池、槽）溝；清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。
■設(shè)備組成
1)高壓熱水清洗動力裝置1套
由高壓熱水清洗機及附件（1套），高壓水自驅(qū)動三維洗罐器（1套），三維洗罐器升降裝置（氣動，1套）組成。
2)熱風凈化烘干機組1套
進風凈化等級：10萬級。
3)清洗烘干工作臺及管道1套
4)電氣控制系統(tǒng)1套。
采用PLC+觸摸屏全自動控制，全套德高潔版控制軟件。
注：水和風的加熱方式：電加熱，蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
